微量水分析儀主要可分為四種類型，分別是：電解法、阻容法（電容法）、光纖法以及冷鏡法，每一種都有其各自的特點，其中：

1、阻容法（電容法）：利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優點是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優點是響應速度非常快，從干到濕響應一分鐘可達90%，因而多用于現場和快速測量場合；缺點是精度較差，不確定度多為±2～3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩定度大大提高，通過對傳感器響應曲線的補償作到了飽和線性，解決了自動校準問題。

2、電解法：五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成，根據具體應用來選擇電極材質（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過程的zui終產物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經過儀器內部信號放大器處理，然后顯示并數據讀出。此原理用來測量所有氣體。包 括Cl2、HC l 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數會同磷酸發生化學反應的氣體除外。

3、光纖法：該技術是20世紀末發展起來的一種新型測量技術，將微量水分析技術提高到了一個新的水平。光纖濕度傳感器的表面為具有不同反射系數的氧化硅和氧化鋯構成的層疊結構，通過先進的熱固化技術，使傳感器表面的孔徑控制在0.3nm, 0.28nm的水分子可以滲入。控制器發射出一束790－820nm的近紅外光，通過光纖電纜傳送給傳感器，進入到傳感器的水分子會改變光的反射系數，從而引起波長的變化，該變化量與介質的水分含量成相應的比例關系。通過測量接收到的光的波長，就可以得到介質的露點及水分含量。

4、冷鏡法：讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生‘偽結露’造成測量誤差。