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DID氦離子氣相色譜儀憑借對氣體(H2、O2、N2、CH2、CO、CO2等)的超高靈敏度與寬線性范圍,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、空分、石化、環(huán)保等行業(yè)。其核心DID檢測器利用脈沖直流放電電離氦載氣,再通過碰撞反應(yīng)電離目標(biāo)組分,實(shí)現(xiàn)ppb級痕量雜質(zhì)檢測。然而,DID氦離子氣相色譜儀在精密的...
AGC氣相色譜儀憑借其核心技術(shù)優(yōu)勢,在精準(zhǔn)檢測與操作便捷性領(lǐng)域樹立。其核心優(yōu)勢體現(xiàn)在檢測靈敏度、溫控精度、系統(tǒng)集成及智能化操作四大維度,為環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)分析、特種氣體檢測等領(lǐng)域提供了高效解決方案。1.超高靈敏度檢測技術(shù)AGC氣相色譜儀搭載氦放電離子化檢測器(DID),通過氦氣放電產(chǎn)生的電離效應(yīng),實(shí)現(xiàn)ppb級(十億分之一)痕量氣體檢測。例如,在監(jiān)測大氣臭氧濃度時(shí),DID檢測器可精準(zhǔn)捕捉100ppb的峰值,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)熱導(dǎo)檢測器(TCD)的靈敏度。其線性范圍達(dá)10??,比FID檢測器...
化學(xué)發(fā)光法(CLD)是測量氮氧化物(NO?)的國際標(biāo)準(zhǔn)方法,以其高靈敏度、高選擇性和快速響應(yīng)著稱。其核心原理基于一氧化氮(NO)與臭氧(O?)的氣相化學(xué)反應(yīng)。一、從NO到NO?的檢測邏輯該儀器的檢測邏輯遵循一個(gè)精妙的“分步測量”設(shè)計(jì),核心部件是兩個(gè)反應(yīng)室和一套切換閥路。NO的直接測量:待測氣體首先直接進(jìn)入第一反應(yīng)室,與儀器內(nèi)部臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的過量O?混合。發(fā)生關(guān)鍵反應(yīng):NO+O?→NO?*+O?。其中約10%的二氧化氮分子處于激發(fā)態(tài)(NO?*)。當(dāng)NO?*從激發(fā)態(tài)躍遷回基態(tài)時(shí)...
在晶圓制造的刻蝕、離子注入和沉積等核心工藝中,高純氬氣作為關(guān)鍵工藝氣體,其純度直接決定集成電路的良品率。任何微量的雜質(zhì),如氧氣、氮?dú)狻⑺只蛱細(xì)浠衔铮伎赡軐?dǎo)致晶圓缺陷、薄膜污染或電路短路,造成巨額損失。因此,對其質(zhì)量的嚴(yán)格控制至關(guān)重要,而高純氬氣相色譜儀(GC)正是執(zhí)行這一關(guān)鍵任務(wù)的核心分析工具。高純氬色譜儀的關(guān)鍵作用主要體現(xiàn)在其的痕量分析能力上。它能夠精準(zhǔn)、快速地檢測出氬氣中低至ppb(十億分之一)甚至ppt(萬億分之一)級別的雜質(zhì)含量。其工作原理是利用色譜柱對氣體混合...
工作原理高純氬分析色譜儀基于氣相色譜分離技術(shù),通過檢測高純氬氣中微量雜質(zhì)的物理化學(xué)性質(zhì)差異實(shí)現(xiàn)定量分析。其核心流程為:樣品引入:高純氬氣樣品經(jīng)進(jìn)樣系統(tǒng)(如六通閥)定量注入色譜儀,進(jìn)入色譜柱。組分分離:色譜柱填充特定固定相(如分子篩、氧化鋁復(fù)合材料),利用雜質(zhì)組分(如H?、O?、N?、CH?、CO、CO?)的沸點(diǎn)、極性或吸附性差異,在載氣(超高純氬氣)推動下實(shí)現(xiàn)分離。檢測與定量:分離后的組分依次進(jìn)入檢測器,轉(zhuǎn)化為電信號。例如,氬離子化檢測器(AID)通過離子化電流變化檢測雜質(zhì)濃...
一、常見故障診斷不出峰或信號異常檢查順序:從進(jìn)樣針、進(jìn)樣口到檢測器逐一排查。關(guān)鍵點(diǎn):確認(rèn)注射器是否堵塞;檢查進(jìn)樣口和檢測器的石墨墊圈是否緊固;觀察檢測器出口是否暢通(如ECD檢測器排放口堵塞會導(dǎo)致氣體無法流動)。案例:某儀器因ECD排放口結(jié)冰堵塞,導(dǎo)致柱頭壓異常,更換載氣后恢復(fù)正常。基線波動或漂移原因分析:載氣純度不足、進(jìn)樣墊老化、襯管污染或溫度控制不穩(wěn)定。排查步驟:檢查氣源純度;更換進(jìn)樣墊;清洗襯管;校準(zhǔn)溫度傳感器。案例:新?lián)Q載氣純度不夠?qū)е禄€劇烈抖動,更換合格載氣后問題...