一、硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

AGC NovaCHROM1000硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀采用DID氦離子化檢測器，主要用于高純硅烷中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2等分析。

AGC NovaCHROM1000，所有連接接口均采用1/8"VCR，保障了儀器的氣密性。安裝的閥門經過了嚴格的泄漏試驗，并且被裝在了有He氣吹掃的機殼內，*與大氣隔離。因此杜絕了環境污染，從而保證儀器有更穩定、更靈敏和更長的使用壽命。

二、低檢測限：

三、主要特點：

• 搭載DID氦離子化檢測器

• 可搭載兩個或兩個以上檢測器

• ppb級的靈敏度

• 快速響應時間≤0.5秒（90%）

• 除獨立大柱箱，另外搭載多個獨立控溫的小柱箱

• 每根色譜柱都有一個獨立溫控的柱箱

• 電拋光不銹鋼管，酸洗鈍化處理

• 可搭載哈氏合金氣路，做防腐蝕性處理

• 根據需求，可選配帶加熱功能電磁閥

• 集成綜合診斷系統

• 長期的穩定性和靈敏性

• *自動化的應用

• 通過Trend-vision工作站軟件*控制

• 可根據用戶需定制不同的氣體分析方式

四、技術優勢：

色譜儀核心部件---- AGC公司的DID HFADD FID TCD檢測器*基于愛爾蘭AGC公司的自主研發， 性強，具有很高的靈敏度和穩定性，是高純氣中低含量雜質分析的選擇；

*的雙檢測器并聯----AGC公司研制雙檢測器并聯使用，搭載兩個*獨立的檢測器，它們的溫控系統和操作運行都是獨立的兩個檢測器，可以串聯，亦可以并聯。

色譜儀氣路系統----獨到的中心切割、反吹系統技術，可以一次完成多種復雜成分的分析檢測;

色譜儀軟件系統----專門為AGC色譜配套研發的Trend Vision，除完成測試報告、自動分析/存儲數據，自動繪制譜圖、反控氣相色譜、調節保留時間及各種切割動作外，zui多可同時控制4臺分析儀器；

載氣純化系統----AGC 75-802載氣純化器為可再生型純化器，能將5.5N級氣體純化到7.5N以上，超高純度的載氣讓AGC高純氣氣相色譜儀具有更高的靈敏度；

載氣切換裝置----CGDP-01載氣切換裝置的配置，可同時承載兩瓶載氣，避免載氣使用完畢在切換氣源時進入污染氣體，載氣切換裝置的配置保證了AGC氣相色譜更高的工作效率和分析質量。

五、高純硅烷色譜圖：