高純氣體中微量雜質的分析是色譜分析的難點。目前國內在高純氣體分析領域多數采用的熱導（TCD）檢測器由于靈敏度有限，很難測定5ppm以下的雜質；氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器，只能分析少數幾種氣體雜質；而氬離子檢測器又往往帶有放射源，均不能達到高純氣體分析的基本要求。隨著國內高純氣體行業的發展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高，以上幾種檢測器已經不能完成對高純氣體中微量雜質的檢測。本方法適用于高純氮、純氮、超純氮以及各種高純氣體中的氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等多種高純氣體的檢測。

　　高純氬屬于無色無味無毒氣體，化學性質極不活潑，未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃)；液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點-185.9℃。熔點-189.2℃。采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進行精餾，得到粗氬。抽出粗氬，經進一步提純可得到高純氬。

　　高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。

　　高純氬分析氣相色譜儀所有連接接口均采用1/8"VCR，保障了儀器的氣密性。安裝的閥門經過了嚴格的泄漏試驗，并且被裝在了有Ar氣吹掃的機殼內，*與大氣隔離。因此杜絕了環境污染，從而保證儀器有更穩定、更靈敏和更長的使用壽命，采用ADD氬放電離子化檢測器，主要用于高純氬以及超純氬中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2的分析。